Developments in semiconductor microlithography IV - April 23-24, 1979, San Jose, California
- Författare
- (Jim Dey ed. coop. organization: Northern California microphotomask/Masking working group.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| cop. 1979 | USA, Bellingham, Wash | 194 sidor. ill., tab. |